Новый метод изготовления нанопленок из оксида алюминия для современной электроники нашли ученые ЮФУ. По их словам, технология обеспечивает более высокие параметры электронных компонентов, а также отличается от аналогов низкой себестоимостью и возможностью управления свойствами получаемого материала. Об этом рассказали в пресс-службе вуза.
Поиск эффективных технологий создания нанопленок и бездефектных покрытий — одна из ключевых задач в развитии современной электроники и оптики, рассказали ученые.
Одна из технологий их получения основана на так называемом "золе-гель методе". Принцип его состоит в получении твердых частиц необходимого материала в пленкообразующем растворе с последующим формированием структурного каркаса. Удаление раствора при сохранении структуры пленки и термическом спекании позволяет получать монолитный материал.
Специалисты Южного федерального университета (ЮФУ) предложили новый технологический процесс получения наноразмерных мембран из оксида алюминия, основанный на синтезе пленки золь-гель методом и ее спекании электронным лучом.
По словам создателей, электронно-лучевая обработка позволяет формировать пленки с требуемыми свойствами, создавать уникальные поверхности и поверхностные структуры, устранять механические дефекты, а также удешевить производство ряда электронных компонентов и повысить их качество. "В нашей работе предложен оригинальный способ создания акустического мембранного датчика, диафрагма которого выполнена из монолитного оксида алюминия. Диафрагма из пленкообразующего раствора оксида алюминия наносилась на рабочий диффузор и спекалась электронным лучом", — рассказал доцент кафедры нанотехнологий и микросистемной техники ЮФУ Сергей Авдеев. Основой датчиков послужил сапфир, одна из фазовых модификаций оксида алюминия, — тугоплавкий материал с высокими механическими параметрами и хорошими изоляционными свойства, объяснили ученые. По их мнению, датчики на пленке оксида алюминия можно использовать в агрессивной среде, например, в морской воде.
"Существует метод получения датчиков на сапфировой мембране, однако это устаревшая технология, крайне трудоемкая и затратная. Наша технология позволяет получать такие же и более тонкие мембраны с меньшими ресурсными и трудовыми затратами", — подчеркнул Авдеев.
Новый метод, по словам ученых ЮФУ, может быть реализован полностью на основе отечественных технологий и производственных мощностей.
В настоящее время научный коллектив работает над развитием других технологий создания наноразмерных пленок с различными свойствами, необходимыми в современной электронике. | 
